低溫電漿灰化 | 動物用藥查詢網
![低溫電漿灰化](https://i.imgur.com/TbfVXFL.jpg)
已離子植入之光阻的硬皮部分係首先經由一種氧氣及氮氣/氫氣電漿而在一低溫(<220°C)下被剝除,用以最小化或防止上文中所提及之起泡以及/或者爆裂問題。接著'一個商溫 ...,由孫宏仁著作·1984—本研究探討生物樣品藉低溫氧氣電漿灰化法分解後,直接利用碳爐式原子吸收光譜分析儀(GF-AAS)測定其中所含鉛及鎘的方法。爲達到直接儀器測定的目標,研究中特別着重低溫 ...,由廖峻德著作·2005—電漿灰化製程於光阻的應用又可稱為resiststripping,最早於1960年代開始.發展,其原理主要因光阻大部分由含碳以及氫原子構成,與具氧電漿內活...
Process for removal of photoresist after post ion implantation | 動物用藥查詢網
已離子植入之光阻的硬皮部分係首先經由一種氧氣及氮氣/氫氣電漿而在一低溫(< 220°C )下被剝除,用以最小化或防止上文中所提及之起泡以及/或者爆裂問題。接著' 一個商溫 ... Read More
利用低溫氧氣電漿灰化及碳爐式原子吸收光譜分析法測定有機及 ... | 動物用藥查詢網
由 孫宏仁 著作 · 1984 — 本研究探討生物樣品藉低溫氧氣電漿灰化法分解後,直接利用碳爐式原子吸收光譜分析儀(GF-AAS)測定其中所含鉛及鎘的方法。爲達到直接儀器測定的目標,研究中特別着重低溫 ... Read More
子計畫一 | 動物用藥查詢網
由 廖峻德 著作 · 2005 — 電漿灰化製程於光阻的應用又可稱為resist stripping,最早於1960 年代開始. 發展,其原理主要因光阻大部分由含碳以及氫原子構成,與具氧電漿內活性物種. 反應,由氧化步驟 ... Read More
行政院公報資訊網 | 動物用藥查詢網
於加熱板上先以低溫乾燥,再以高溫碳化後,移入灰化爐中。先以200℃加熱2小時,再升溫至450℃,加熱8小時,冷卻後取出,若未完全灰化,則加入硝酸1 mL溼潤,加熱乾燥後 ... Read More
電漿源原理與應用之介紹 | 動物用藥查詢網
由 李安平 著作 — 核能研究所已開發完成直流. 電漿火炬技術,火炬功率可達3,000 kW,並實際用於. 處理低放射性廢棄物及焚化爐灰渣,達到減容、固化、. 無害化或資源化等多重效果。 2-5 電漿 ... Read More
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