cf4半導體 | 動物用藥查詢網
CF4在常溫下,為無色、無臭、不燃的易壓縮性氣體,揮發性較高,是最穩定的有機化合物之一,不易溶于水。可應用在半導體CVD/Etching/去光阻/Clean、Solarcell產業。,毒化與膜電極水管理兩大問題合而為一,利用CF4、CHF3與SF6電漿對碳布進行表面改質,增加其疏水性;使用半導體金屬氧化物、儲氫合金與透明導電薄膜三種材料作為水分子 ...,為了有效率並完全地除去光阻殘留,以四氟化碳(CF4)氣體為主的電漿去光阻製程一直被...論文名稱:CF4電漿製程對0.18微米金氧半導體元件特性參數及其可靠度影響之研究.,由古坤文著作·2003—半導體金屬蝕...
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CF4 | 動物用藥查詢網
CF4在常溫下,為無色、無臭、不燃的易壓縮性氣體,揮發性較高,是最穩定的有機化合物之一,不易溶于水。可應用在半導體CVD/Etching/去光阻/Clean、Solar cell產業。 Read More
Cf4 plasma | 動物用藥查詢網
毒化與膜電極水管理兩大問題合而為一,利用CF4、CHF3 與SF6 電漿對碳布進行表面改質,增加其疏水性;使用半導體金屬氧化物、儲氫合金與透明導電薄膜三種材料作為水分子 ... Read More
CF4電漿製程對0.18微米金氧半導體元件特性參數及其可靠度 ... | 動物用藥查詢網
為了有效率並完全地除去光阻殘留,以四氟化碳(CF4)氣體為主的電漿去光阻製程一直被 ... 論文名稱: CF4電漿製程對0.18微米金氧半導體元件特性參數及其可靠度影響之研究. Read More
半導體金屬蝕刻機台於預防維修時之污染物逸散控制 | 動物用藥查詢網
由 古坤文 著作 · 2003 — 半導體金屬蝕刻製程主要使用Cl2(氯氣)、BCl3(氯化硼)、CF4(四氟. 化碳)、N2(氮氣)、Ar(氬氣)、He(氦氣),以高能電漿(plasma)離子化產生. Read More
半導體& ETCH 知識,你能答對幾個? | 動物用藥查詢網
2020年10月21日 — 答:Inert Gas 為一些特殊無強烈毒性的氣體, 如NH3, CF4, CHF3, SF6 等. 廠務供氣系統中何謂Toxic Gas ? 答:Toxic Gas 為具有強烈危害人體的毒性氣體, 如 ... Read More
四氟化碳 | 動物用藥查詢網
顯示▽. 1/CF4/c2-1(3,4)5. EINECS · 200-896-5 · ChEBI · 38825 · RTECS, FG4920000. 性質. 化學式, CF4. 莫耳質量, 88.00 g·mol⁻¹. 外觀, 無色無味氣體. Read More
微波電漿應用於分解半導體製程尾氣之研究 | 動物用藥查詢網
本研究以微波電漿反應器處理半導體廠中乾蝕刻與清洗化學氣相沉積製程. 的全氟化物,因為其反應效率有限,導致有過量的全氟化物由尾氣排放。本研究. 以CF4 為代表性 ... Read More
新型半導體全氟化物廢氣電漿處理技術 | 動物用藥查詢網
產生之高溫電漿進行對半導體全氟碳化物氣體直接裂解的破壞與去除實驗成果,對C2F6 及. CF4 等常見之全氟化物去除效率均能達到99.9%,副產物主要為CO2 與HF。 Read More
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氟甲? FLUMEQUINE
氟甲?有哪些副作用?由益吉國際有限公司製造的氟甲?是治療什麼的?藥品成分是什麼?以下為大家提供詳細的「氟甲?」動物用藥...
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海博萊雞新城病、傳染性支氣管炎、傳染性華氏囊病不活化混合疫苗有哪些副作用?由台灣海博萊有限公司製造的海博萊雞新城病、...